天津中环电炉股份有限公司

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湖南郴州市RTP-小型快速退火炉,润湿角

2022-06-20 10:11:43  273次浏览 次浏览
价 格:面议

产品应用:

该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、

快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验

产品特点:

可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;管内测温设计,

温控精度高,升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。

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